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| 製品名 | PS-100 | PS-150 | PS-200 |
| 電極構造 | バレル式 | 平行平板 | 平行平板 |
| 最大出力 | 100W | 200W | 300W |
| 発振周波数 | 10～50kHz | 10～50kHz | 10～50kHz |
| 操作パネル | 5" タッチスクリーンパネル | 10.1" タッチスクリーンパネル | 10.1" タッチスクリーンパネル |
| チャンバー寸法 | 100×1800mm（φ×L） | W150 × D200 × H140mm | W200 × D230 × H160mm |
| チャンバー材質 | アルミ製 | アルミ製 | アルミ製 |
| ガス流量制御 | マスフローコントローラ 1チャンネル | マスフローコントローラ 最大3チャンネル | マスフローコントローラ 最大4チャンネル |
| 反応ガス | 酸素、空気 | 酸素、アルゴン、窒素、CF4、SF6 他 | 酸素、アルゴン、窒素、CF4、SF6 他 |
| ガス導入口 | チューブ径6mm スウェージロック | チューブ径6mm スウェージロック | チューブ径6mm スウェージロック |
| 電源 | 100 - 230V AC、50/60Hz | 100 - 230V AC、50/60Hz | 100 - 230V AC、50/60Hz |
| 装置寸法 | W158 × D430 × H221mm | W390 × D555 × H610mm | W410 × D575 × H660mm |
| 装置重量 | — | 50kg | — |
※仕様は予告なく変更される場合があります。
